4月7日,据外媒报道,韩国半导体制造商SK Hynix旗下工厂发生化学品泄漏事故,造成3名工人受伤,但半导体产品生产不会受到影响。
据韩媒报道,SK Hynix位于韩国利川的M16工厂发生了一起化学品泄漏事故,事故发生在这家工厂的五楼,泄漏的是氢氟酸。
韩国媒体报道称,泄漏发生时,工人正在5楼检查设备,3名工人在泄漏中受伤。SK海力士透露,泄漏事故发生在设备检查期间,不会影响生产。
氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,清澈无色,腐蚀性强,有刺激性,能强烈腐蚀金属、玻璃和含硅物体。在半导体工业中,氢氟酸用于去除硅表面的氧化物。
氢氟酸泄漏的M16工厂,是SK海力士刚刚建成的新工厂。根据SK海力士官网信息,M16工厂于2018年11月开工,投资3.5万亿韩元,历时两年建成。竣工仪式于今年2月1日举行。当时,SK集团总裁崔泰源、副总裁崔在元、SK海力士CEO李希希等SK集团、SK海力士多位高管出席了落成仪式。
根据SK海力士官网信息,M16工厂建成后将主要用于生产DRAM产品。作为SK海力士面向未来的重要工厂,M16工厂也引优艾设计网_设计百科进了一台紫外线光刻机,这是SK海力士首次引进这类设备。
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